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Vakuumbeschichtung
Tallenna

Vakuumbeschichtung

Behandelt werden Messungen an dunnen Schichten wahrend und nach der Beschichtung, Schichtdickenmessverfahren, Verfahren der Dunnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Alaotsikko
Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
Toimittaja
Gerhard Kienel
Painos
Softcover reprint of the original 1st ed. 1994
ISBN
9783642635113
Kieli
saksa
Paino
310 grammaa
Julkaisupäivä
30.10.2012
Sivumäärä
368