Semiconductor Lithography
- Alaotsikko
- Principles, Practices, and Materials
- Kirjailija
- Wayne M. Moreau
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1988
- ISBN
- 9781461282280
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Sarja
- Microdevices
- Julkaisupäivä
- 22.2.2012
- Kustantaja
- Springer-Verlag New York Inc.
- Sivumäärä
- 952