Tallenna
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors
Kirjailija:
sidottu, 2013
englanti
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.
- Kirjailija
- Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw
- Painos
- 2014 ed.
- ISBN
- 9789400767980
- Kieli
- englanti
- Paino
- 446 grammaa
- Julkaisupäivä
- 30.7.2013
- Kustantaja
- Springer
- Sivumäärä
- 199
