Tallenna
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors
Kirjailija:
nidottu, 2015
englanti
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.
- Kirjailija
- Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 2014
- ISBN
- 9789401781404
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 8.8.2015
- Kustantaja
- Springer
- Sivumäärä
- 199
