
Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;
- Kirjailija
- Gerhard Franz
- Painos
- 3. Auflage 2004
- ISBN
- 9783642622847
- Kieli
- saksa
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 12.10.2012
- Sivumäärä
- 543