Siirry suoraan sisältöön
Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Tallenna

Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;

Kirjailija
Gerhard Franz
Painos
3. Auflage 2004
ISBN
9783642622847
Kieli
saksa
Paino
310 grammaa
Julkaisupäivä
12.10.2012
Sivumäärä
543