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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Tallenna

Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

Kirjailija:
sidottu, 2003
saksa

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;

Kirjailija
Gerhard Franz
Painos
3. Auflage 2004
ISBN
9783540407652
Kieli
saksa
Paino
446 grammaa
Julkaisupäivä
2.12.2003
Sivumäärä
543