
Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;
- Författare
- Gerhard Franz
- Upplaga
- 3. Auflage 2004
- ISBN
- 9783540407652
- Språk
- Tyska
- Vikt
- 446 gram
- Utgivningsdatum
- 2003-12-02
- Sidor
- 543
