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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Spara

Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

Författare:
Tyska
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In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;

Författare
Gerhard Franz
Upplaga
3. Auflage 2004
ISBN
9783642622847
Språk
Tyska
Vikt
310 gram
Utgivningsdatum
2012-10-12
Sidor
543