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Vakuumbeschichtung
Spar

Vakuumbeschichtung

Behandelt werden Messungen an dunnen Schichten wahrend und nach der Beschichtung, Schichtdickenmessverfahren, Verfahren der Dunnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Undertittel
Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
Opplag
Softcover reprint of the original 1st ed. 1994
ISBN
9783642635113
Språk
Tysk
Vekt
310 gram
Utgivelsesdato
30.10.2012
Antall sider
368