Gå direkte til innholdet
Vakuumbeschichtung
Spar

Vakuumbeschichtung

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstaubung, teilchengestutzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
Undertittel
Verfahren und Anlagen
Opplag
Softcover reprint of the original 1st ed. 1995
ISBN
9783642633980
Språk
Tysk
Vekt
310 gram
Utgivelsesdato
14.10.2012
Antall sider
481