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Technologien der Mikrosysteme
Spar

Technologien der Mikrosysteme

Forfatter:
Tysk

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).

Forfatter
Ha Duong Ngo
Opplag
1. Aufl. 2022
ISBN
9783658374976
Språk
Tysk
Vekt
310 gram
Utgivelsesdato
2.1.2023
Antall sider
246