
Technologien der Mikrosysteme
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).
- Forfatter
- Ha Duong Ngo
- Opplag
- 1. Aufl. 2022
- ISBN
- 9783658374976
- Språk
- Tysk
- Vekt
- 310 gram
- Utgivelsesdato
- 2.1.2023
- Antall sider
- 246
