Solarzellen mit vergrabenen Kontakten

Herstellungstechniken f r Solarzellen mit vergrabenen Vorder- und R ckkontakten erfordern in der Regel eine Vielzahl von physikalischen und chemischen Behandlungen des Halbleitermaterials (Silizium). Die Fotolithografie ist ein solches Herstellungsverfahren, das in der Optik und Mikroelektronik weit verbreitet ist. Bei diesem Verfahren wird ein lichtempfindliches Polymer auf das Substrat aufgebracht, um das Bild einer Maske zu bertragen und durch tzen auf das Substrat zu bertragen.