Silicon Nitride for Microelectronic Applications
- Undertittel
- Part 1 Preparation and Properties
- Forfatter
- John T. Milek
- Opplag
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1971
- ISBN
- 9781468461640
- Språk
- Engelsk
- Vekt
- 310 gram
- Utgivelsesdato
- 21.1.2013
- Antall sider
- 118
