Sensores de pressão Nanowire

um facto bem conhecido que a microelectr nica uma das tecnologias mais influentes do s culo XX. O boom dos sistemas microelectromec nicos (MEMS), nos ltimos anos, n o teria sido poss vel sem a maturidade da tecnologia da micro-electr nica. Os MEMS s o dispositivos pequenos e integrados, que combinam electr nica, elemento el ctrico bem como mec nico num nico chip. MEMS promete revolucionar a maioria dos microprodutos atrav s da microfabrica o a pente fino com processo de micromaquinagem. Um n vel sem paralelo de superioridade, sofistica o, funcionalidade, fiabilidade e disponibilidade pode ser alcan ado num pequeno chip de sil cio a um custo relativamente baixo. O MEMS escala nanom trica est dividido em sistemas nanoelectromec nicos (NEMS) e nanotecnologia.