Semiconductor Lithography
- Undertittel
- Principles, Practices, and Materials
- Forfatter
- Wayne M. Moreau
- Opplag
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1988
- ISBN
- 9781461282280
- Språk
- Engelsk
- Vekt
- 310 gram
- Serie
- Microdevices
- Utgivelsesdato
- 22.2.2012
- Antall sider
- 952
