Propiedades de películas delgadas de IZO impurificado con nitrógeno

En el presente trabajo, se hace la caracterizaci n ptica y el ctrica con la t cnica de Elipsometr a Espectral, de pel culas delgadas de IZO impurificadas con nitr geno. Estas pel culas pertenecen a la familia de xidos conductores transparentes (TCO's), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta; teniendo las caracter sticas de baja resistividad el ctrica, buena movilidad y alta concentraci n de portadores de carga libres. Para depositar las pel culas de xido de zinc e indio (IZO) dopado con nitr geno, se utiliz la t cnica de pulverizaci n cat dica reactiva asistida por radiofrecuencia. Esta t cnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporaci n de las impurezas.