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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Spar

Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;

Forfatter
Gerhard Franz
Opplag
3. Auflage 2004
ISBN
9783642622847
Språk
Tysk
Vekt
310 gram
Utgivelsesdato
12.10.2012
Antall sider
543