
Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;
- Forfatter
- Gerhard Franz
- Opplag
- 3. Auflage 2004
- ISBN
- 9783642622847
- Språk
- Tysk
- Vekt
- 310 gram
- Utgivelsesdato
- 12.10.2012
- Antall sider
- 543
