
Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies: Techniques, Fundamentals and Devices
- Redaktør
- O. Auciello, Jürgen Engemann
- Opplag
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1993
- ISBN
- 9789401047579
- Språk
- Engelsk
- Vekt
- 310 gram
- Utgivelsesdato
- 14.10.2012
- Forlag
- Springer
- Antall sider
- 633
