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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Spar

Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

ISBN
9783959080149
Språk
Tysk
Vekt
250 gram
Utgivelsesdato
27.10.2015
Antall sider
144