Spar
Handbook of Silicon Semiconductor Metrology
e-bok, 2001
Engelsk
Les i Adobe DRM-kompatibelt e-bokleserDenne e-boka er kopibeskyttet med Adobe DRM som påvirker hvor du kan lese den. Les mer
Containing more than 300 equations and nearly 500 drawings, photographs, and micrographs,this reference surveys key areas such as optical measurements and in-line calibration methods. It describes cleanroom-based measurement technology used during the manufacture of silicon integrated circuits and covers model-based, critical dimension, overlay
- Redaktør
- Alain C. Diebold
- ISBN
- 9780203904541
- Språk
- Engelsk
- Utgivelsesdato
- 29.6.2001
- Forlag
- CRC PRESS
- Tilgjengelige elektroniske format
- PDF - Adobe DRM
- Les e-boka her
- E-bokleser i mobil/nettbrett
- Lesebrett
- Datamaskin
