Glas-Titandioxid-Komposite für LTCC-Anwendungen

Inhaltlich unver nderte Neuauflage. In der vorliegenden Arbeit wird die Herstellung von Glas/Titandioxid-Kompositen mit hohen Permittivit ten beschrieben. Ausgehend vom tern ren System Bariumoxid-Boroxid-Titandioxid (BaO-B2O3-TiO2) werden zwei verschiedene Glaszusammensetzungen erschmolzen und die Materialeigenschaften mit unterschiedlichen F llergehalten erarbeitet. Die Permittivit ten der hergestellten amorphen Gl ser, die als Ausgangsverbindungen verwendet werden, liegen bei 13 und 14. Die dielektrischen Verlustfaktoren sind dabei f r beide Gl ser unter 2,5.10-3. Es wird gezeigt, dass Komposite mit F llergehalten von bis zu 30 Vol.-% Titandioxid bei gleichzeitig niedrigen Porosit ten von unter 5 Vol.-% hergestellt werden k nnen. Die Permittivit ten dieser Komposite liegen, wie erwartet, bei Werten von ber 30. Die Abh ngigkeit der Permittivit ten mit steigendem F llergehalt wird best tigt.