Funktionelle dünne Schichten, hergestellt mit Plasmatechniken

Die derzeitigen technologischen Anwendungen von Werkstoffen sind vielf ltig, insbesondere von Metallen, die mit Nitridschichten beschichtet sind. In den letzten Jahren wurden zahlreiche Forschungsarbeiten mit dem Ziel durchgef hrt, die Haftung dieser Schichten auf Stahlsubstraten zu optimieren, um ihren Anwendungsbereich zu erweitern. Nitridschichten aus Metallkationen, insbesondere aus Titan, Zirkonium, Chrom und Aluminium, haben sich als sehr interessant f r Anwendungen erwiesen, bei denen Oberfl chenh rte, Korrosionsbest ndigkeit und Scherfestigkeit erforderlich sind. Die Haftung dieser Schichten war jedoch die gr te Einschr nkung f r tribologische Anwendungen, die einen hohen mechanischen Aufwand an der Oberfl che erfordern. In dieser Arbeit werden Techniken zur Verd nnung der Schicht/Substrat-Grenzfl che untersucht, und zwar durch: i) thermisch aktivierte Diffusion oder Interdiffusion und ii) schrittweise Ver nderung der chemischen Zusammensetzung der Schicht/Substrat-Grenzfl che (funktionelle Schichten). Untersucht wurden die Schichten und Grenzfl chen, die sich zwischen TiN- und AlN-Schichten und Stahlsubstraten AISI M2 und AISI D6 bilden.