Explorando o Nitreto de Tântalo

As pel culas finas desempenham um papel importante no desenvolvimento e estudo de materiais com propriedades novas e nicas. As pel culas finas s o muito teis no mundo atual devido sua vantagem de alterar as propriedades da superf cie de um material a granel de acordo com as nossas necessidades. As pel culas finas podem ser depositadas em materiais a granel atrav s de dois tipos de processos: a deposi o f sica de vapor e a deposi o qu mica de vapor. O principal objetivo do presente trabalho sintetizar um revestimento base de nitreto de t ntalo em substratos de vidro, sil cio, lat o e a o macio, utilizando o processo de pulveriza o cat dica por magnetr o RF. Estud mos o efeito do tempo de deposi o e da varia o do caudal de azoto nas propriedades estruturais e tribol gicas do revestimento base de nitreto de t ntalo. O tempo de deposi o do revestimento foi variado de 20 a 80 min. O caudal de azoto variou de 5 a 30 sccm. O difrat metro de raios X (XRD) e a microscopia de for a at mica (AFM) foram utilizados para determinar a estrutura e a topografia da superf cie do revestimento. Foi utilizado um trib metro de pino sobre disco para determinar as propriedades tribol gicas do revestimento.