Élaboration des couches minces d'oxyde de zinc par spray pyrolyse

Dans ce travail, le d veloppement de plusieurs s ries de films minces d'oxyde de zinc par spray pyrolyse dans diff rentes conditions de d p t est d montr . Les diff rentes techniques utilis es (Profilom tre, Diffraction des rayons X, Spectrophotom trie UV-Visible, Ellipsom tre annulation, et la technique des deux pointes dans une configuration coplanaire) pour tudier les propri t s structurelles, optiques et lectriques de ces films sont galement d crites (Epaisseurs des couches, Taille des grains, Contraintes, Indice de r fraction, Largeur de la bande interdite, Param tre d'Urbach, Conductivit lectrique, et l' nergie d'activation). Les films obtenus sont polycristallins avec une structure form e d'une seule phase hexagonale de type w rtzite. L'analyse des spectres de transmittance avec la croissance de la conductivit avec la temp rature de mesure montre qu'il est possible d'obtenir des couches minces transparentes et semiconducteurs de ZnO.