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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

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Forfatter
Oliver Morlok
ISBN
9783662066560
Språk
Tysk
Utgivelsesdato
1.7.2013
Tilgjengelige elektroniske format
  • PDF - Adobe DRM
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