
Development of High Performance Piezoelectric AlScN for Microelectromechanical Systems
- Undertittel
- Towards a Ferroelectric Wurtzite Structure
- Forfatter
- Simon Fichtner
- ISBN
- 9783750431423
- Språk
- Engelsk
- Vekt
- 222 gram
- Utgivelsesdato
- 18.2.2020
- Forlag
- Books on Demand
- Antall sider
- 180
