Bilanciamento della forza e soppressione degli errori del microgiroscopio vibrante al silicio

Il microgiro ad anello vibrante un giroscopio a fluttuazione solida a struttura assialsimmetrica bidimensionale che si evoluto da un giroscopio risonante emisferico tridimensionale. Partendo dall'eredit delle caratteristiche del giroscopio a risonanza emisferica, come l'elevata precisione, l'alta affidabilit , la lunga durata e la resistenza ai sovraccarichi, compatibile con l'attuale tecnologia di elaborazione MEMS mainstream, con un migliore CSWaP e con un'ampia prospettiva di applicazione. Pertanto, il giroscopio ad anello vibrante diventato uno dei punti caldi della ricerca sui giroscopi MEMS.