
Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
- Undertittel
- Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle
- Forfatter
- Ronald Hellriegel
- Opplag
- 001
- ISBN
- 9783839106938
- Språk
- Tysk
- Vekt
- 208 gram
- Utgivelsesdato
- 25.6.2009
- Forlag
- BoD - Books on Demand
- Antall sider
- 136
