? ??????????????? ???????????? ????????&

Полупроводниковая промышленность стимулирует развитие нанотехнологий и получает от этого немалую выгоду. Как предсказывает закон Мура, количество отдельных нанокомпонентов, таких как транзисторы на чипе, продолжает расти, увеличивая плотность функциональных элементов и тем самым повышая вычислительную мощность. Одним из мощных методов контролируемого производства в нанометровом масштабе является обработка сфокусированным электронным пучком (FEBIP). При этом сфокусированный электронный пучок используется для локального изменения свойств подложки, что позволяет изготавливать наноструктуры произвольной формы и контролируемого химического состава. Наиболее часто применяемым и известным методом FEBIP является метод индуцированного осаждения электронным пучком (EBID), в котором определенные молекулы прекурсоров локально диссоциируются под воздействием электронного пучка, что приводит к осаждению нелетучих фрагментов прекурсоров. В этой книге были проведены исследования по изготовлению и применению наноструктуры методом EBID.