
X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
- Kirjailija
- Frieder Johannes Koch
- ISBN
- 9783731506799
- Kieli
- englanti
- Paino
- 255 grammaa
- Julkaisupäivä
- 16.10.2017
- Kustantaja
- Karlsruher Institut für Technologie
- Sivumäärä
- 170