
Vergleich der Plasmaparameter induktiv gekoppelter Niederdruckplasmen
- Alaotsikko
- Bei 27,12MHz und bei 2MHz
- Kirjailija
- Johannes Doerfler
- ISBN
- 9786202208550
- Kieli
- saksa
- Paino
- 197 grammaa
- Julkaisupäivä
- 9.1.2018
- Kustantaja
- AV Akademikerverlag
- Sivumäärä
- 120