
The Physics of Microfabrication
- Kirjailija
- Ivor Brodie, Julius J. Muray
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1982
- ISBN
- 9781489921628
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 26.6.2013
- Kustantaja
- Springer-Verlag New York Inc.
- Sivumäärä
- 504