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Silizium-Halbleitertechnologie
Tallenna

Silizium-Halbleitertechnologie

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie.
Alaotsikko
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Painos
8. Aufl. 2023
ISBN
9783658423773
Kieli
saksa
Paino
310 grammaa
Julkaisupäivä
27.10.2023
Sivumäärä
309