Silicon Nitride for Microelectronic Applications
- Alaotsikko
- Part 1 Preparation and Properties
- Kirjailija
- John T. Milek
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1971
- ISBN
- 9781468461640
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 21.1.2013
- Kustantaja
- Springer-Verlag New York Inc.
- Sivumäärä
- 118