Tallenna
Silicon Nitride for Microelectronic Applications
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 Diffusion Mask Applications . . . . . . . . . . . . '" 11 Glass-to-Metal Seals . 23 Passivation Applications . 24 Isolation . 76 Radiation Hardening Applications .
- Alaotsikko
- Part 2 Applications and Devices
- Kirjailija
- J. T. Milek
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1972
- ISBN
- 9781461596110
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 21.1.2013
- Kustantaja
- Springer-Verlag New York Inc.
- Sivumäärä
- 117
