Siirry suoraan sisältöön
Reduced Thermal Processing for ULSI
Tallenna

Reduced Thermal Processing for ULSI

66,20 €
As feature dimensions of integrated circuits shrink, the associated geometrical constraints on junction depth impose severe restrictions on the thermal budget for processing such devices.
Toimittaja
R.A. Levy
Painos
Softcover reprint of the original 1st ed. 1989
ISBN
9781461278573
Kieli
englanti
Paino
310 grammaa
Julkaisupäivä
30.9.2011
Sivumäärä
450