
Radio Frequency Sputtering
- Alaotsikko
- Thin-Film Deposition and Device Applications
- Toimittaja
- Aditya Sharma, Weon Cheol Lim, Poorva Sharma
- ISBN
- 9783527356225
- Kieli
- englanti
- Paino
- 446 grammaa
- Julkaisupäivä
- 9.9.2026
- Kustantaja
- Wiley-VCH GmbH
- Sivumäärä
- 432