Siirry suoraan sisältöön
Process Variations in Microsystems Manufacturing
Tallenna

Process Variations in Microsystems Manufacturing

Kirjailija:
sidottu, 2020
englanti
This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.
Kirjailija
Michael Huff
Painos
2020 ed.
ISBN
9783030405588
Kieli
englanti
Paino
446 grammaa
Julkaisupäivä
10.4.2020
Sivumäärä
521