Predictive Simulation of Semiconductor Processing
Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research.
- Alaotsikko
- Status and Challenges
- Toimittaja
- Jarek Dabrowski, Eicke R. Weber
- Painos
- 2004 ed.
- ISBN
- 9783540204817
- Kieli
- englanti
- Paino
- 446 grammaa
- Julkaisupäivä
- 5.5.2004
- Sivumäärä
- 490