Siirry suoraan sisältöön
Precision Nanometrology
Tallenna

Precision Nanometrology

Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.
Alaotsikko
Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing
Kirjailija
Wei Gao
Painos
2010 ed.
ISBN
9781447157434
Kieli
englanti
Paino
310 grammaa
Julkaisupäivä
4.11.2014
Sivumäärä
354