Tallenna
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Lue Adobe DRM-yhteensopivassa e-kirjojen lukuohjelmassaTämä e-kirja on kopiosuojattu Adobe DRM:llä, mikä vaikuttaa siihen, millä alustalla voit lukea kirjaa. Lue lisää
This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.
- Kirjailija
- Seongbo Shim, Youngsoo Shin
- ISBN
- 9783319762944
- Kieli
- englanti
- Julkaisupäivä
- 21.3.2018
- Kustantaja
- Springer International Publishing
- Formaatti
- Epub - Adobe DRM
- Lue e-kirjoja täällä
- Lue e-kirja mobiililaitteella/tabletilla
- Lukulaite
- Tietokone
