n der Monographie werden die Prozesse der Bildung von Mehrkomponentenfilmen und Nanokristallen auf der Basis von Materialien unterschiedlicher Art unter Verwendung von Methoden wie Ultrahochvakuumbedampfung, Molekularstrahlepitaxie, niederenergetischer Ionenimplantation in Kombination mit Tempern (thermisch und Laser) betrachtet. Die grundlegenden Mechanismen der Bildung von Nanostrukturen, technologische Routen f r die Herstellung von Nanokristallen und Nanofilmen sowie deren m gliche Anwendungsgebiete werden dargelegt. Das Buch richtet sich an Wissenschaftler, Doktoranden, Masterstudenten und Studierende, die auf die Gebiete der Physik der kondensierten Materie und der Festk rperoberfl chen sowie der physikalischen Elektronik und Materialwissenschaft spezialisiert sind.