Tallenna
Mikromechanik
nidottu, 2012
saksa
Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik.
- Alaotsikko
- Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
- Toimittaja
- Anton Heuberger
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1989
- ISBN
- 9783642466229
- Kieli
- saksa
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 14.6.2012
- Sivumäärä
- 501
