Mikro- Und Nanoelektromechanik

In der modernen Mikroelektronik ist der sich am intensivsten entwickelnde Sektor mikroelektromechanische Systeme, MEMS. Diese Richtung basiert auf den neuesten Errungenschaften der mikroelektronischen Technologien und zielt darauf ab, exekutive Mikromechanismen zu schaffen, die bisher unerreichbare Funktionsf higkeiten haben. In den letzten Jahren haben MEMS durch die Schaffung neuer M rkte f r mobile Elektronik mit bisher unbekannten Verbrauchereigenschaften und Branchen - Automobil, Elektronik, Luft- und Raumfahrt, Medizin usw. - das t gliche Leben von Dutzenden von Millionen von Menschen stark beeinflusst. Die meisten Spezialisten, Entwickler von elektronischen Ger ten und Anwender von High-Tech-Ger ten haben jedoch bisher nur unzureichende Informationen ber die neue Richtung der Mikroelektronik. Das Buch betrachtet den gegenw rtigen Stand dieser Richtung der Mikroelektronik, ein breites Spektrum ihrer praktischen M glichkeiten und Perspektiven f r die weitere Entwicklung. Physikalische Prinzipien der Funktionsweise von MEMS und ihre Eigenschaften werden betrachtet. Das Buch richtet sich an Spezialisten der Mikroelektronik und Informatik sowie an Studenten technischer Hochschulen.