Microlithography: High Integration In Microelectronics - Proceedings Of The First Workshop
- Toimittaja
- Baranauskas Vitor Baranauskas, Craievich Aldo Craievich, De Souza Gerardo Gerson Bezzera De Souza
- ISBN
- 9789814611909
- Kieli
- englanti
- Julkaisupäivä
- 1.5.1990
- Kustantaja
- World Scientific Publishing Company
- Sivumäärä
- 192
