Tallenna
Micro and Nano Fabrication
Lue Adobe DRM-yhteensopivassa e-kirjojen lukuohjelmassaTämä e-kirja on kopiosuojattu Adobe DRM:llä, mikä vaikuttaa siihen, millä alustalla voit lukea kirjaa. Lue lisää
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
- Alaotsikko
- Tools and Processes
- Kirjailija
- Jurg Leuthold, Volker Saile, Hans H. Gatzen
- ISBN
- 9783662443958
- Kieli
- englanti
- Julkaisupäivä
- 2.1.2015
- Kustantaja
- Springer Berlin Heidelberg
- Formaatti
- PDF - Adobe DRM
- Lue e-kirjoja täällä
- Lue e-kirja mobiililaitteella/tabletilla
- Lukulaite
- Tietokone
