
Mems/Nems
- Alaotsikko
- (1) Handbook Techniques and Applications Design Methods, (2) Fabrication Techniques, (3) Manufacturing Methods, (4) Sensors and Actuators, (5) Medical Applications and MOEMS
- Toimittaja
- Cornelius T. Leondes
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 2006
- ISBN
- 9781489977397
- Kieli
- englanti
- Paino
- 249 grammaa
- Julkaisupäivä
- 23.8.2016
- Kustantaja
- Springer-Verlag New York Inc.
- Sivumäärä
- 2094