Siirry suoraan sisältöön
Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)
Tallenna

Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)

ISBN
9781119130796
Kieli
englanti
Paino
446 grammaa
Julkaisupäivä
10.6.2021
Kustantaja
Wiley-Blackwell
Sivumäärä
424