
Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)
- Kirjailija
- Mustafa Yavuz, Arthur Willoughby, Peter Capper, Safa Kasap
- ISBN
- 9781119130796
- Kieli
- englanti
- Paino
- 446 grammaa
- Julkaisupäivä
- 10.6.2021
- Kustantaja
- Wiley-Blackwell
- Sivumäärä
- 424