
Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
- Kirjailija
- Pierre Pötschick
- ISBN
- 9783959080149
- Kieli
- saksa
- Paino
- 250 grammaa
- Julkaisupäivä
- 27.10.2015
- Kustantaja
- TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH
- Sivumäärä
- 144