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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Tallenna

Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

ISBN
9783959080149
Kieli
saksa
Paino
250 grammaa
Julkaisupäivä
27.10.2015
Sivumäärä
144