

Ion Implantation: Equipment and Techniques
- Alaotsikko
- Proceedings of the Fourth International Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982
- Toimittaja
- H. Ryssel, H. Glawischnig
- ISBN
- 9783642691560
- Kieli
- englanti
- Julkaisupäivä
- 6.12.2012
- Kustantaja
- Springer Berlin Heidelberg
- Formaatti
- PDF - Adobe DRM
- Lue e-kirjoja täällä
- Lue e-kirja mobiililaitteella/tabletilla
- Lukulaite
- Tietokone